Бесхлорная технология получения
солнечного кремния
Для производства солнечных элементов и в полупроводниковой электронике используется высокого качества поликристаллический кремний (ПКК), получаемый по предлагаемой экологически чистой технологии. Технология разработана совместно с институтами Министерства промышленности и энергетики РФ.
Процесс изготовления ПКК включает следующие химические стадии:
Si +ЗС2Н5ОН ®SiН(ОС2Н5)3+Н2
4 SiH(OC2H5)3®SiH4 + 3Si(OC2H5)4
SiH4®Si+2H2
Краткие технико-экономические данные
· Исходные материалы (металлургический кремний с содержанием примесей 1—3% и этиловый спирт) доступны в неограниченных количествах по относительно низкой цене.
· достоинства технологии:
— соединения хлора не используются и процессы экологически безопасны, все процессы идут при нормальном давлении и температуре не выше 300°С;
— химические реакции связаны только с кремнием и происходят практически без переноса посторонних примесей, что снижает стоимость очистки;
— реакционные продукты не взаимодействуют со стенками реактора, сводя к минимуму загрязнение конечных продуктов;
— отсутствие нереализуемых производственных отходов;
— расход электроэнергии составляет около 30 кВт×ч/кг ПКК против 200 кВт×ч/кг для обычного трихлорсиланового метода, что в 2–3 раза снижает стоимость ПКК до 15 тыс. долл. США/т.
· Основная продукция: моносилан и поликристаллический кремний высокой степени чистоты.
Высокое качество моносилана и ПКК подтверждены результатами измерений. Присутствие примесей находится на уровне пределов обнаружения современными методами анализа. Удельное сопротивление изготовленных монокристаллических образцов кремния превышает 10 000 Ом×см, а время жизни неосновных носителей достигает 1000 мкс.
При изменении конъюнктуры рынка технологический процесс, запатентованный в России и США, позволяет менять ассортимент и количество производимой товарной продукции:
· ПКК электронного качества для электронной промышленности;
· ПКК солнечного качества для фотоэнергетики;
· ПКК для инфракрасных фотоприемников и детекторов ядерных частиц;
· Высокочистый моносилан и его смеси с водородом и аргоном;
· Тетраэтоксилан особой чистоты;
· Диоксид кремния особой чистоты;
· Кремнезоль.
Институт заключает контракты на изготовление технологических линий производительностью 0,35–1000 т/год. Срок реализации проекта на 0,35 т/год – 1 год.
Организация крупномасштабного производства поликристаллического кремния (объемом 1000 т/год) составит 3 года.